收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于“荷花效应”的MEMS功能表面仿生技术

范细秋  张鸿海  贾可  刘胜  
【摘要】:微机电系统(MEMS)正在成为新崛起的大规模产业和各国政府竞争的至高点,但随着其特征尺度的日趋减小,表面效应显著增强,由此引起的摩擦磨损、表面粘附等问题成为制约MEMS发展的瓶颈。论证了“荷花效应”应用于MEMS领域仿粘减摩的机理,探讨了类荷叶仿生功能表面的制作方法,并给出了初步试验结果。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孙道恒,黄元庆,郑炜,朱立秒,李文望;MEMS系统级仿真建模理论与方法的研究[J];厦门大学学报(自然科学版);2001年02期
2 魏强,周兆英,王晓浩,王广龙,朱荣,刘钦彦;微型飞行器的微型无线数据传输系统[J];清华大学学报(自然科学版);2002年11期
3 殷玲,陈非凡,李云龙;一种静电驱动微机械元件的结构模型[J];清华大学学报(自然科学版);2002年11期
4 曹志彤,何国光,陈宏平;超磁致微位移直线驱动器[J];压电与声光;2002年05期
5 孙道恒;MEMS耦合场分析与系统级仿真[J];中国机械工程;2002年09期
6 屈新芬,苏伟;侵彻武器用MEMS大g值加速度计[J];兵工自动化;2002年03期
7 朱荣 ,周兆英;基于ME MS的姿态测量系统[J];测控技术;2002年10期
8 刘晓斌;微机电系统的进展分析与研究[J];机械研究与应用;2002年01期
9 张力,徐宗俊,王英章;微型涡轮发动机设计与制造的若干关键技术[J];重庆大学学报(自然科学版);2003年11期
10 周兆英,杨兴;微/纳机电系统[J];仪表技术与传感器;2003年02期
中国重要会议论文全文数据库 前6条
1 余春锦;昂海松;;微型扑翼飞行器的研究进展与关键技术[A];探索创新交流--中国航空学会青年科技论坛文集[C];2004年
2 张兆华;岳瑞峰;谭智敏;刘理天;;汽车轮胎压力监控传感器研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
3 徐晨;霍文晓;杨道虹;赵慧;赵林林;沈光地;;一种新颖的低温硅片直接键合技术[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
4 朴相镐;褚金奎;吴红超;杜小振;;微能源的研究现状及发展趋势[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
5 陈文元;崔峰;吴校生;张卫平;;悬浮转子式MEMS微陀螺的研究概况[A];2006年船舶通讯导航学术会议论文集[C];2006年
6 张文明;孟光;黄海;周健斌;陈杰宇;;微型旋转机械研究进展[A];第八届全国转子动力学学术讨论会论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 陈明祥;基于感应加热的MEMS封装技术与应用研究[D];华中科技大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 焦峰;透皮微针阵列的工艺研究[D];浙江大学;2005年
2 蔡玉丽;MEMS集成光纤连接器关键技术研究[D];上海交通大学;2007年
3 杨长勇;化学铸(镀)制备Ni-P合金微构件的研究[D];东南大学;2005年
4 鲁李乐;MEMS电磁驱动器的理论分析与实验研究[D];上海交通大学;2008年
5 曾文光;新型复合结构电热微驱动器[D];上海交通大学;2008年
6 刘亮;MEMS电磁继电器微型化的研究[D];上海交通大学;2008年
7 郭慧芳;三框架硅微机械陀螺的结构设计及加工工艺研究[D];中北大学;2008年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978