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二氧化锡薄膜的电阻气敏和光透射率气敏性能

林殷茵  汤庭鳌  黄维宁  姜国宝  姚熹  
【摘要】:以无机盐为原料,采用新颖的溶胶-凝胶工艺制备了具有优良电阻-气敏性能的纳米晶二氧化锡薄膜,其在最佳工作温度 200℃对 600ppm CO的灵敏度可达 500,响应时间和恢复时间分别为13s和 20s.进一步研究了薄膜的光透射率-气敏性能,发现当通 CO时,透射率下降,最佳工作温度与电阻-气敏性能一致,当提高薄膜的退火温度时,电阻-气敏和光透射率-气敏的灵敏度均下降.分析了产生这些现象的原因.

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