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非晶金刚石薄膜的拉曼光谱研究

陈弟虎  魏爱香  周友国  范家海  杨增红  彭少麒  魏爱香  
【摘要】:碳离子的能量是影响非晶金刚石薄膜结构和性质最关键的工艺参数.采用磁过滤真空溅射离子技术,研究不同衬底偏压Vb(即不同碳离子能量)下制备的非晶金刚石薄膜的拉曼光谱和表面形貌.结果表明:-50V≤Vb≤-10V时,样品表面均匀、光滑,拉曼谱是对称且很宽的散射带;Vb>-10V或Vb<-50V时,已有晶团出现,表面粗糙度明显增加,拉曼谱明显地分裂为1580cm-1的G带和1350cm-1的D带.

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