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MF(I)S结构设计对硅基铁电薄膜系统C-V特性的影响

于军  董晓敏  赵建洪  周文利  谢基凡  郑远开  刘刚  
【摘要】:为制备符合铁电场效应晶体管( F F E T) 及铁电存储二极管( F M D) 要求的高质量铁电薄膜,采用 P L D ( Pulsed Laser Deposition) 工艺, 制备了不同 M F ( I) S 结构的硅基铁电薄膜系统由 C- V特性的对比分析可见, 影响 C- V 特性的主要因素除了衬底类型、界面特性之外, 还有薄膜的结构设计在此基础上, 为改善铁电薄膜的 C- V 特性提出了合理设想

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