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一种最新的等离子体腐蚀技术──TM-ECR

黎星  

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6 伊贺健一;徐振华;;GaInAsP/InP双异质结激光器及其集成化所需要的制作技术[J];半导体光电;1980年02期
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8 朱晓梅;周晓东;张桂梅;苗洪英;;氧化钕中14个稀土杂质的测定方法[A];中国稀土学会第四届学术年会论文集[C];2000年
9 周晓东;朱晓梅;苗洪英;张桂梅;;氧化镨中14个稀土杂质的测定方法[A];中国稀土学会第四届学术年会论文集[C];2000年
10 沈绍群;杨恒;尹颢;鲍敏杭;;“无掩模”腐蚀技术与硅多层微机械结构[A];2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集[C];2000年
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10 唐平瀛;高频离子源等离子体特性研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
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1 逸之;生物植酸及其盐类问世[N];北京科技报;2000年
2 张国升;世界的LGLG的世界[N];科技日报;2000年
3 记者 常珊珊、通讯员 李丹;我国有了等离子体温室气体化学实验室[N];科技日报;2000年
4 记者 吴仲国;中日签署两项科技合作协议[N];科技日报;2000年
5 ;HT—7超导托卡马克装置国际合作[N];科技日报;2000年
6 姜言;科学家展望未来电视机[N];科学时报;2000年
7 刘小革;我核聚变装置壁处理技术获进展[N];科学时报;2000年
8 国防大学 李大光;等离子体隐形技术在军事上的应用[N];科学时报;2000年
9 记者 刘裕国;等离子体彩电投入生产[N];人民日报;2000年
10 刘小革;我国核聚变装置壁处理再创新技术[N];四川科技报;2000年
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