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用硅烷和甲烷辉光放电法制备的a-Si_xC_(1-x):H薄膜及光电性能的研究

陈光华  张仿清  徐希翔  杜宁  王会生  
【摘要】:本文主要介绍了应用SiH_4+CH_4的辉光放电法制备光电性能优良的a-si_xC_(1-x):H薄膜的最佳工艺条件、红外吸收谱、光隙E_(opt)同x的关系以及ESCA测量结果。我们还得到了光电导率与暗电导率比σ_P/σ_D与分压比G之间的经验公式σ_P/σ_D=C_0(1.3-G)~(-8)。文中还对这些实验结果进行了初步讨论。

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