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制备条件对二氧化钛薄膜性能的影响(英文)

武正簧  
【摘要】:用低压化学气相沉积法制备TiO2薄膜。研究表明,水的分压、沉积温度、基片材料均对沉积速率有影响。在硅片上镀膜,沉积温度相同而退火温度不同,则薄膜结构亦不同。当退火温度高于85℃时,薄膜为纯金红石薄膜。

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