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影响纳米压入测试结果的因素

张泰华  
【摘要】:纳米硬度计 ,又称深度测量压入仪。该仪器在刚性压针上施加特定载荷 ,同时记录压入试样深度。此技术广泛应用于微纳米尺度力学性能的研究。以MTSNanoIndenter○RXP为测试手段 ,参考试样熔融硅为研究对象 ,进行了不同压入深度的测试。结果显示 ,硬度和模量有随压入深度减小而增大的趋势。分析了接触零点的确定、压针尖端缺陷、试样表面的吸湿和粗糙度、弹塑性转变等因素对测试结果的影响。在压入深度为微米和亚微米量级时 ,上述因素对测试结果无显著影响 ;而在纳米量级时 ,有显著影响。所以 ,当压入深度为几十纳米时 ,纳米压入测试结果的可靠性值得注意

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