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半导体进行激光退火时预热温度的计算

肖鸿飞  苗俊  
【摘要】:以P型Si片为例,给出了连续CO2激光吸收率β(Τ),吸收系数α(T)和反射率R(T)与温度的关系,利用这些关系给出了CO2激光通火最佳预热温度的理论计算方法.

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