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木工刀具用Ti-B-C涂层残余应力研究

徐淑艳  谢元仲  杨德岭  方海峰  陈春晟  
【摘要】:采用Ti B2/C复合靶,以M50钢为基底,改变Ti过渡层和Ti-B-C涂层厚度沉积了系列复合涂层,采用XRD方法测试涂层的结构,利用曲率法计算涂层的残余应力。研究表明,Ti-B-C涂层中存在较多的Ti B2晶体,主要择优生长面为(001)晶面。过渡层的存在可以有效减小复合涂层中的残余应力;随着Ti-B-C涂层厚度的增加,复合涂层内的残余应力增加;随着放置时间的延长,复合涂层中的残余应力基本不发生改变。

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