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高效超薄多晶硅片生产中的若干关键技术

吴波  王伟杨  许磊  金浩  陈伟  肖贵云  
【摘要】:高效超薄多晶硅片是生产优质多晶硅太阳电池的基础。结合晶科能源有限公司的生产实际,探讨了高效超薄多晶硅片生产中的若干关键技术问题,对相关企业改进工艺、提高产品质量具有一定的指导意义。

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