收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计

刘军  李海华  王庆康  
【摘要】:基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法,研究了空气阻尼作用对扭臂式静电驱动结构Pull-in电压的影响.对所设计的驱动结构,考虑空气阻尼作用时,Pull-in电压增大约7%.对单晶硅扭臂式静电驱动结构进行应力分析得到,当上下极板发生吸合时,结构应力均匀分布在上电极,且扭臂的最大内应力仅为72.848MPa,远小于单晶硅的屈服强度,整个驱动结构的设计是稳定可靠的;用力矩法推导出的该结构的Pull-in电压适用于该微静电驱动系统.研究结果为扭臂式微驱动器参数选择提供了依据.

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 殷玲,陈非凡,李云龙;一种静电驱动微机械元件的结构模型[J];清华大学学报(自然科学版);2002年11期
2 王宝东,万江文,冯仁剑;一种新型3D微镜结构的静电驱动电压特性分析[J];微纳电子技术;2005年06期
3 李翠萍;柴凤;于艳君;程树康;;静电马达发展综述[J];微电机;2009年05期
4 闫金良;一种静电驱动微机械变形反射镜[J];强激光与粒子束;2005年04期
5 朱毅;郭丹;;三维微型梳齿的静电结构耦合特性研究[J];润滑与密封;2006年07期
6 林谢昭;应济;;基于模态分析的静电驱动圆薄板宏模型建立方法[J];传感技术学报;2006年05期
7 沈雪瑾;侯利程;;MEMS动平板的切向静电阻力[J];摩擦学学报;2008年06期
8 李俊;应济;周良兴;;基于MEMS的静电微泵建模与仿真[J];工程设计学报;2009年01期
9 张彧;王文;赵小林;丁桂甫;;静电驱动振模微泵的理论分析[J];传感器与微系统;2013年01期
10 李平梁,李碧洲,赖宗声,陆德仁,王添平;静电梳微振子结构和特性研究[J];传感技术学报;1996年04期
11 凌坚,万江文;一维MEMS微镜静电弹性耦合[J];微纳电子技术;2004年10期
12 张彧;王文;赵小林;丁桂甫;;柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压力性能的影响[J];中国机械工程;2014年01期
13 李伟剑,苑伟政,马炳和,乔大勇;硅微陀螺的静电-结构耦合分析与模拟[J];西北工业大学学报;2003年06期
14 张文明;孟光;魏克湘;;参数激励下静电驱动微机电系统动力特性研究[J];力学学报;2009年02期
15 王丛舜,熊春阳,杨振川,张大成,方竞;一种新型静电驱动的单轴扭转微镜[J];微纳电子技术;2003年Z1期
16 沈雪瑾;;静电梳状硅微单侧直脚谐振器的力学性能[J];机械工程学报;2009年05期
17 李丽伟;朱荣;周兆英;;基于能量法的微驱动器静电弹性耦合分析[J];微纳电子技术;2006年05期
18 杨会生;;嵌入式静电驱动控制电源设计[J];光机电信息;2011年04期
19 辛超;李丽伟;;不同电压下静电驱动膜片弹性变形分析[J];上海电力学院学报;2013年04期
20 王洪喜,贾建援,樊康旗;求解静电驱动微梁变形的数值与解析方法[J];机械设计与研究;2005年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 朱毅;郭丹;;三维微型梳齿的静电结构耦合特性研究[A];2006全国摩擦学学术会议论文集(二)[C];2006年
2 冯泽军;王永岗;;多层静电驱动微梁的非线性弯曲及振动[A];北京力学会第17届学术年会论文集[C];2011年
3 李浩群;陈丽华;;接触式静电微开关动力学分析[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
4 张文明;孟光;周健斌;陈杰宇;;参数激励下静电驱动MEMS共振传感器的非线性动力特性研究[A];第八届全国动力学与控制学术会议论文集[C];2008年
5 于尚民;冯仁剑;万江文;;基于状态空间法的MEMS静电驱动控制方案[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
6 栗大超;吴文刚;闫桂珍;傅星;郝一龙;胡小唐;;硅微机械扭转微镜的研究进展[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
7 赵剑;康春霞;贾建援;;计及边缘效应的静电驱动微结构静电力计算[A];2005年机械电子学学术会议论文集[C];2005年
8 仲作阳;张文明;孟光;;倾斜梳齿对疏状谐振器的频率调节效应[A];第十四届全国非线性振动暨第十一届全国非线性动力学和运动稳定性学术会议摘要集与会议议程[C];2013年
9 尚慧琳;;一类静电驱动微结构谐振传感器的吸合不稳定性研究及控制[A];中国力学大会——2013论文摘要集[C];2013年
10 李洋;许高斌;;一种新型并联梳齿驱动的静电型微继电器[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 王洪喜;微结构的静电驱动特性研究[D];西安电子科技大学;2006年
2 余洪斌;MEMS-DMs理论设计及工艺研究[D];华中科技大学;2005年
3 孙丽波;微板多物理场耦合非线性动力学研究[D];燕山大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 叶秀倩;静电驱动之微型环的稳定性分析[D];烟台大学;2012年
2 蒋玉燕;静电驱动压电检测微机械陀螺仪的力学分析[D];暨南大学;2008年
3 胡昆仑;基于激光/微笔直写的静电驱动可变电容制备技术研究[D];华中科技大学;2009年
4 陈策;静电微泵动态特性和流量分析[D];燕山大学;2013年
5 吴红刚;静电驱动振膜型微泵理论研究[D];上海交通大学;2007年
6 曹焱;微机械中静电梳齿结构的静动力学研究[D];西安电子科技大学;2006年
7 陈荣;静电柔性振膜型微泵的理论分析和相关键合工艺研究[D];上海交通大学;2008年
8 李勇;微夹持理论与系统的研究[D];清华大学;2002年
9 江文娟;MEMS静电驱动系统中非局部问题研究[D];华东师范大学;2008年
10 于尚民;MEMS静电驱动结构运动特性控制方法[D];北京邮电大学;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978