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镁铝共掺杂氧化锌薄膜的制备与光电性能研究

陈冬  张漫虹  钟美桃  梁铨斌  陈星源  罗国平  胡素梅  
【摘要】:采用磁控溅射在玻璃衬底上制备镁铝共掺杂氧化锌(MAZO)薄膜。通过XRD、AFM、紫外-可见-近红外分光光度计和四探针测试仪综合分析溅射功率对MAZO薄膜结构特性、表面形貌和光电性能的影响。XRD测试表明,所有MAZO薄膜具有六方纤锌矿晶体结构,沿垂直衬底的(002)方向择优取向。AFM测试显示,所有MAZO薄膜的表面粗糙度低于10 nm。分光光度计测量结果表明,所有MAZO薄膜可见光区域平均透射率在90%以上。随着溅射功率从0增加至200 W,MAZO薄膜禁带宽度从3.46 eV增加至3.53 eV,电阻率从0.41×10~(-2)Ωcm增长至2.38×10~(-2)Ωcm,而品质因子从2.68×10~(-3)Ω~(-1)下降至0.87×10~(-3)Ω~(-1)。通过调控溅射功率,能改变MAZO薄膜中的Mg含量,进一步调节其光电性能。

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