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17-4PH钢表面Ti/TiN多层复合薄膜的研究

于耀华  王彦峰  吴伟建  
【摘要】:对17-4PH钢表面Ti/TiN多层复合薄膜进行了研究,应用电弧离子镀技术分析了不同Ti层与TiN层厚度比值和不同复合层数对表面形貌、断面形貌、成分、显微硬度、相结构、致密性、厚度均匀性、耐磨性、结合力等涂层性能的影响。通过研究确认,在Ti单层沉积3 min、TiN单层沉积17 min条件下制备的Ti/TiN六层复合薄膜具有极好的力学性能,可以使基体材料的表面硬度提高5倍以上,并使膜基结合力达到56 N以上。

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