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磁控溅射制备钛基薄膜研究进展

迟迅  宋长虹  鲍君峰  高陟  任鑫明  马北越  
【摘要】:磁控溅射技术是制备钛基薄膜常用的方法。本文综述了磁控溅射法的基本原理、特点及方法种类,并总结了磁控溅射法制备TiO_2、TiN、TiC薄膜和Ti复合薄膜的最新研究进展,最后展望了磁控溅射技术制备Ti基薄膜的发展方向。

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