收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

靶功率对射频磁控溅射制备MoS_2-Sb_2O_3复合薄膜结构和性能的影响

张延帅  周晖  万志华  桑瑞鹏  郑军  
【摘要】:采用射频磁控溅射技术制备MoS2-Sb2O3复合薄膜,研究靶功率对薄膜性能和结构的影响。利用XRD、XRF分析薄膜的成分和结构,用CSM薄膜综合性能仪测试薄膜的硬度及附着力,通过承载力试验测试薄膜的承载性能,使用真空球-盘摩擦试验机测试真空和大气下薄膜的摩擦因数及耐磨寿命。结果表明:使用射频磁控溅射制备的MoS2-Sb2O3复合薄膜具有准非晶结构,其薄膜结构和成分受沉积时的靶功率影响;MoS2-Sb2O3复合薄膜在真空下具有比大气下更稳定的摩擦学性能,更长的耐磨寿命;提高溅射原子能量能有效地提高MoS2-Sb2O3复合薄膜的承载性能,减少薄膜的内应力,提高薄膜的附着力,提高薄膜的耐磨寿命。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 唐利强;刘军;陈志刚;陈春;吴燕杰;;基片偏压对直流反应磁控溅射CNx薄膜性能的影响[J];材料保护;2007年08期
2 孙金池;刘正堂;李阳平;冯丽萍;张兴刚;;射频功率对Cu/Ag导电薄膜结构和性能的影响[J];西北工业大学学报;2005年06期
3 李静,李志栓,吴孙桃;氧化钒薄膜作为锂离子微电池阴极膜的磁控溅射技术的制备(英文)[J];功能材料;2005年08期
4 陈祝;聂海;杨成韬;杨邦朝;;PZT/ZnO薄膜制备及其结构特性研究[J];功能材料;2009年12期
5 王英连,刘玉华,任思雨,孙汪典;光纤ZnO薄膜的制备及光催化性能研究[J];环境污染治理技术与设备;2005年03期
6 周晖;郑军;温庆平;桑瑞鹏;万志华;;沉积温度对非平衡磁控溅射MoS_2-Ti复合薄膜的结构与性能影响研究[J];润滑与密封;2007年12期
7 赵灵智;;锂离子电池Sn负极材料的制备及性能[J];广东化工;2009年04期
8 陈浩;李金泽;厉以宇;苏晓东;;射频磁控反应溅射制备TiO_2薄膜[J];苏州大学学报(自然科学版);2010年02期
9 王丽;石敏;周国庆;左如忠;许育东;苏海林;伍光;于桂洋;于涛;;2-2型磁电复合薄膜材料研究现状[J];金属功能材料;2010年06期
10 孙雅琴;严少平;;BCN薄膜的硬度和剩余应力的研究[J];安徽理工大学学报(自然科学版);2005年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 逄显娟;王鹏;石雷;刘维民;;基底偏压对磁控溅射Ti-Al-C薄膜结构及性能的影响[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
2 徐洮;陈建敏;赵家政;;铝质材料的摩擦学表面改性(Ⅱ)——铝阳极氧化膜的多孔质结构及自润滑处理[A];第六届全国摩擦学学术会议论文集(上册)[C];1997年
3 高永建;陈国需;王志民;蒋松;董俊修;;异辛酸稀土化合物的摩擦学性能研究[A];第七届全国摩擦学大会会议论文集(一)[C];2002年
4 周仲荣;;摩擦学尺寸效应及相关问题的思考[A];第七届全国摩擦学大会论文集(二)[C];2002年
5 徐建生;何家胜;顾卡丽;游中流;;特效切削液添加剂的摩擦学特性研究[A];第七届全国摩擦学大会论文集(二)[C];2002年
6 刘艳丽;赵鸿斌;;黄原酸衍生物的合成及摩擦学性能研究[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(上册)[C];2006年
7 赵阳;于鹤龙;许一;史佩京;徐滨士;;添加浓度对氧化物复合纳米颗粒摩擦学性能的影响[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
8 唐宾;曲均志;范爱兰;秦林;;钛合金表面Mo基渗镀层组织及其摩擦学性能[A];2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2006年
9 黄丽娜;张记升;张玉娟;吴志申;张平余;;液相电化学法制备非晶碳薄膜[A];2006全国摩擦学学术会议论文集(一)[C];2006年
10 赵阳;于鹤龙;许一;史佩京;徐滨士;;添加浓度对氧化物复合纳米颗粒摩擦学性能的影响[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 徐蕾;极端工况下矿井提升机衬垫摩擦学性能及改性研究[D];中国矿业大学;2010年
2 徐蕾;极端工况下矿井提升机衬垫摩擦学性能及改性研究[D];中国矿业大学;2010年
3 程昱川;几类层状超薄膜结构的分子光谱研究[D];吉林大学;2006年
4 欧雪梅;表面修饰矿物填料改性尼龙1010的摩擦学性能研究[D];中国矿业大学;2009年
5 钟萍;聚脲涂层体系及其摩擦学性能研究[D];机械科学研究总院;2009年
6 王玉新;硼碳氮薄膜的制备及其光透过性质研究[D];长春理工大学;2005年
7 王吉民;薄膜结构的风振响应分析和风洞试验研究[D];浙江大学;2001年
8 许云辉;选择性氧化法制备环境友好型功能棉纤维研究[D];苏州大学;2006年
9 李玉峰;硫酸盐自润滑陶瓷基复合材料的制备与摩擦学性能[D];哈尔滨工业大学;2009年
10 林红;蚕丝纤维的微孔生成及其填埋特性研究[D];苏州大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 祁俊路;射频反应磁控溅射法制备Al_2O_3薄膜结构与性能的研究[D];合肥工业大学;2006年
2 张凯;Cd掺杂BZN薄膜的制备和性能研究[D];电子科技大学;2007年
3 刘著光;射频磁控溅射ZnO:Al薄膜及其特性研究[D];厦门大学;2008年
4 董志华;硅基SiC中间层辅助法合成GaN薄膜和纳米线的研究[D];山东师范大学;2005年
5 马红梅;纳米TiO_2薄膜的制备及其性质的研究[D];吉林大学;2006年
6 田明霞;Ti-Al系(金属间)化合物薄膜的制备和摩擦学性能研究[D];江苏大学;2008年
7 林方婷;纳米Fe基软磁合金的制备及微结构研究[D];华东师范大学;2005年
8 张永爱;Li_2O-ZnO-SiO_2系封接玻璃结构和性能的研究[D];武汉理工大学;2004年
9 高海永;ZnO薄膜的制备及氨化Ga_2O_3/ZnO薄膜合成一维GaN纳米结构的研究[D];山东师范大学;2005年
10 梁鸿秋;PLZT薄膜电学和光学性能及电光器件原理研究[D];电子科技大学;2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 刘彦宏;影响油墨附着力的几个方面[N];中国包装报;2009年
2 记者 陈炳欣;强调环保议题 3M发布新款增亮膜[N];电子资讯时报;2006年
3 建材工业技术情报研究所所长 胡幼奕;悉尼奥运场馆建设及建材使用的启示(下)[N];中国建材报;2003年
4 ;培养皿中的数据存储[N];网络世界;2007年
5 吴爱华;昌河铃木:把培训作为销售的先行[N];中国工业报;2004年
6 素贞;悉尼奥运场馆建筑装饰材料的使用[N];中华建筑报;2003年
7 艳平;意大利的吹塑膜技术有独到之处[N];中国包装报;2007年
8 向畅;杨庆山:让“鸟巢”“水立方”抗百年大风[N];光明日报;2007年
9 闫晗郭力方;北京奥运场馆创世界“绿色”之最[N];人民日报海外版;2007年
10 本报记者 张强 特约记者 李荣惠 通讯员 袁耿林 刘长江;油料尖兵 国之所需[N];科技日报;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978