太阳电池窗口层材料Sc掺杂ZnO薄膜的抗腐蚀性研究

【摘要】：用于太阳电池窗口层的材料必须具有好的耐蚀性。利用射频磁控溅射的方法分别在300℃、350℃、400℃、450℃的沉积温度下制备透明导电Sc掺杂ZnO薄膜(SZO)。用X射线衍射仪对样品的结构进行表征。结果表明,所有SZO薄膜均为六角纤锌矿结构,在(002)衍射峰位上相对于纯ZnO粉末有微小的偏移。用动电位扫描极化曲线和交流阻抗谱表征SZO薄膜的耐腐蚀性能,研究结果表明随沉积温度的升高,SZO薄膜的耐腐蚀性增强。在可见光范围内SZO薄膜透过率达85%以上,经3.5%的NaCl溶液腐蚀24 h后薄膜透过率仍在80%以上。