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金刚石和类金刚石薄膜的近期评论

陈本敬  郑丽荣  张莫逸  吕小波  
【摘要】:本文讨论了近十多年来出现的金刚石和类金刚石薄膜的生长方法、测试方法、内部结构、生长机理以及展望未来等问题。这种薄膜都是以碳元素为基础形成的,但随着制作方法不同,它处于碳氢聚合物、非晶碳、微晶及非晶碳混合物、微晶金刚石以及微晶石墨等不同组织。它们都是通过碳离子形成的,故又叫 i—c 膜。膜的特点透明、坚韧、磨擦系数小、耐腐蚀、电阻大、有半导体性质。

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