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电子隧道效应在微机械振动陀螺中的应用

李文望  孙道恒  
【摘要】:简介微机械振动陀螺的工作原理和电子隧道效应原理 ,电子隧道效应在敏感微小位移的变化有极高的灵敏度 ,已成功地应用在加速度计、红外探测器、磁强针等微传感器上 .本文提出把电子隧道效应应用到微机械振动陀螺的输出检测 ,并分析了输出为角振动和线振动的结构设计方案及检测方式 .

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