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碳气凝胶/聚苯乙烯双介质柱状靶的研制

朱秀榕  周斌  徐翔  杜艾  钟艳红  张志华  沈军  吴广明  倪星元  
【摘要】:介绍了碳气凝胶/聚苯乙烯(CRF/CH)双介质柱状靶的制备方法。使用溶胶-凝胶法和微模具原位成型法制备了直径为820μm的间苯二酚-甲醛(RF)气凝胶微柱,在氮气保护下进行高温碳化后得到直径为730μm、密度为250 mg.cm-3的CRF微柱;采用浸渍提拉法在CRF微柱柱面镀制一层厚度为26μm的CH薄膜,形成CRF/CH双介质结构;采用机械微切割技术制备了长度为1 mm,内径为730μm,壁厚为26μm的CRF/CH双介质柱状靶。实验研究了RF,CRF气凝胶微柱的制备工艺、微观形貌及CRF微柱轴向和径向的密度均匀性,探讨了影响CH薄膜厚度的主要因素,并对CH薄膜的表面形貌和两种材料之间的界面进行了表征。

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