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氮气退火对二氧化钛薄膜光学性能的影响

居勇峰  祖小涛  向霞  
【摘要】:提出了一种利用离子注入和后续退火制备氮掺杂TiO2薄膜的方法。首先在室温下向石英玻璃中注入Ti离子,随后在氮气中退火到900℃,从而制备了氮掺杂的玻璃基TiO2薄膜。SRIM2006程序模拟和卢瑟福背散射谱(RBS)研究表明注入离子从样品表面开始呈高斯分布,实验结果和模拟结果吻合很好。X射线光电子能谱(XPS)研究结果表明注入态样品中形成了金属Ti和TiO2,900℃退火后金属Ti转变成TiO2,同时N原子替代少量的晶格O原子形成了O-Ti-N化合物。紫外-可见吸收光谱(UV-Vis)结果显示,当退火温度至500℃时,在吸收光谱中开始出现TiO2的吸收边,随退火温度升高到900℃,由于O-Ti-N化合物形成,TiO2的吸收边从3.98 eV红移到3.30 eV,TiO2吸收边末端延伸到可见光区,在可见光区的吸收强度明显增加。

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14 张国军,金宗哲;离子注入对陶瓷材料力学性能的影响[J];中国建材科技;1994年06期
15 G.A.Collins!澳大利亚,杨向明;PI~3(等离子浸没离子注入)─—一种新型氮化工艺[J];国外机车车辆工艺;1996年02期
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9 辛华;苏一;董向红;;铜离子注入绿豆种胚细胞结构变化的分析[A];第九次全国电子显微学会议论文摘要集(Ⅰ)[C];1996年
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1 记者 刘连喜 特约记者 程春生;省农科院引进离子注入设备[N];山西科技报;2003年
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6 北京师范大学低能核物理研究所 林文廉;让离子束造福人类[N];科技日报;2002年
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9 王雪飞;揭开“离子生物效应”之谜[N];山西科技报;2001年
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