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高灵敏度云纹干涉法

石玲  张云祥  戴福隆  
【摘要】:将折射率介质应用于云纹干涉法,大大提高了测量灵敏度。当试件栅频率为600线/mm时,虚栅频率可达到6000线/mm,利用其±5级衍射光进行干涉,灵敏度为0.16μm。

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