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四氯化硅氢化工艺研究与探讨

陈旭日  朱慧芳  张建利  赵天生  
【摘要】:介绍了国内外多晶硅生产工艺副产物四氯化硅转化为三氯氢硅的两种工艺:热氢化与冷氢化。对两种工艺的特点、过程能耗及发展方向进行了研究与探讨。

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