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测量透明薄膜表面三维轮廓的新型白光干涉法

刘艳  丁万山  
【摘要】:基于新型的峰值分离算法,提出了白光干涉法(垂直扫描白光测量法)的一种新的应用———测量覆盖透明薄膜的物体表面的三维轮廓,并同时测量出透明薄膜的三维轮廓和厚度信息,克服了传统光学非接触测量的缺点,拓展了白光干涉法的应用领域。这一技术可用于检测光学厚度约为1μm或以上的透明薄膜,可广泛有效的应用于半导体和LCD加工制造等需要精细测量的领域。

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