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一种利用激光干涉条纹位相进行微位移测量方法

傅继武  谈振兴  徐旭明  王鸣  
【摘要】:利用激光干涉条纹的位相,提出了一种简便、快速且精度很高的微小位移的测量方法。实验表明,计算程序是可行,测量精度可达1/360的条纹间隔,可实现光学亚微米和纳米尺度的测量。

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