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磁控溅射TiN界面结合强度的压痕法测试

韦习成  李健  袁成清  
【摘要】:在试验的基础上提出了测量 Ti N涂层界面结合强度的弹塑性赫兹接触应力经验修正公式 ,作为应用实例测量了不同基体表面粗糙度对磁控溅射沉积的 Ti N涂层界面结合强度的影响 .将测量结果与其它测量方法所得结果进行了比较 ,证明提出的方法切实可行 .

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