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OLD诊断SiH_4的LPCVD动力学过程

傅广生  李晓苇  韩理  张连水  董丽芳  吕福润  薛春银  
【摘要】:正 用光—声激光偏转(OLD)技术研究了激光等离子体淀积(LPCVD)硅膜中的激波动力学过程。证明激波对淀积膜的结构、均匀性及面积有重要影响。

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