收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于PZT-Si的微机电系统微驱动器的设计与仿真分析

史平安  万强  靳凡  
【摘要】:设计了一种基于PZT和Si的蟹爪型MEMS微驱动器,具有结构简单、响应速度快、输出位移大的特点。为了进一步优化结构、提高使用寿命,根据微驱动器的结构特征,建立了直流电压下PZT蟹爪梁的的力-电耦合数学模型,得到了驱动电压与变形量的关系曲线。采用数值模拟方法开展了压电层材料、厚度等参数对微驱动器驱动性能的影响研究,研究表明:相对于压电层厚度和输入电压的影响,压电材料性能是系统稳定性的主要影响因素。以弹性柔顺系数相对较低的"硬陶瓷"PZT-4作为压电层时,微驱动器的稳定性增强但驱动响应有所降低;而当选用弹性柔顺系数相对较大的"软陶瓷"PZT-5和PZT-5H作为压电层时,微驱动器的驱动效应增强而稳定性降低。在此基础上,对微驱动器的结构参数进行了优化分析,确定了蟹爪梁结构参数的最优组合,为微驱动器的设计和改进提供了理论指导。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前11条
1 史平安;万强;靳凡;;基于PZT-Si的微机电系统微驱动器的设计与仿真分析[J];科学技术与工程;2018年18期
2 赵玉侠;任森;狄杰建;赵全亮;;基于ANSYS的面内压电微驱动器有限元分析[J];压电与声光;2016年05期
3 徐锡林;压电型微驱动器[J];上海交通大学学报;1997年01期
4 张段芹;王辉;刘建秀;;基于刚度矩阵法的V型电热微驱动器模型与性能分析[J];机械设计与研究;2014年04期
5 王欢;李以贵;蔡金东;吴文渊;吕瞳;何易德;;基于块材压电陶瓷的悬臂梁式压电微驱动器[J];微纳电子技术;2018年08期
6 柴宗兴;许立忠;曹富林;;基于SMA新型旋转微驱动器的设计研究[J];微特电机;2018年04期
7 景作军;高轩;;基于PZT的面内压电微驱动器力学分析[J];北方工业大学学报;2017年05期
8 郝永平;王锁成;刘双杰;;MEMS面内电热微驱动器中U型梁的分析[J];仪表技术与传感器;2015年06期
9 于洋;赵清华;李刚;张文栋;;一种新型静电斥力微驱动器的设计与仿真[J];仪表技术与传感器;2016年06期
10 刘本东;张震;李德胜;;微泵的分类及其研究的最新进展[J];北京工业大学学报;2018年06期
11 张绪平;张卓;;V型和Z型电热微驱动器性能比较与分析(邀请论文)[J];北京工业大学学报;2015年11期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 徐加山;郭涛;孙宏明;郭航;;一种压电微驱动器的ANSYS仿真研究[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 史斌;金属光热微驱动器的驱动理论及实验研究[D];浙江大学;2016年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 刘昕;用于硅基氮化镓可调微镜的梳齿型微驱动器的研究[D];南京邮电大学;2016年
2 吕凡敏;基于图形化SOI衬底的氮化镓微驱动器的研究[D];南京邮电大学;2016年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978