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脉冲激光沉积PLD技术及其应用

吕珂  
【摘要】:本文综述了脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的机理、特点及薄膜生长的主要过程,并介绍了其在制备半导体、高温超导、类金刚石、生物陶瓷薄膜等方面的应用。大量研究表明,脉冲激光沉积技术是目前最好的制备薄膜的方法之一。

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