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脉冲激光沉积(PLD)铜薄膜过程的模拟研究

段章山  李润玲  王永仓  刘婧  
【摘要】:通过对PLD技术中的等离子体的产生及传播理论的分析,对等离子体的传播规律及基片平面上粒子浓度、速度的分布进行了模拟研究;讨论了PLD技术中等离子体的输运机理,为PLD薄膜制备提供了理论参考。

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