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分离式干涉镜的激光干涉仪测量系统分析

孙亮  
【摘要】:目前常用来测量长度的激光干涉仪,主要是以迈克尔逊干涉仪为主,并以稳频氦氖激光为光源,构成一个具有干涉作用的测量系统。最近出现了一些其它的测量系统,它们与激光干涉仪测量系统有着本质上的不同。本文研究了线性和直线度测量模式下分离式干涉镜的激光干涉仪测量系统的优点,并分析了电子靶标测量系统对测量精度的影响。

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