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高精度STM.IPC-205BJ型原子力显微镜的设计

彭光含  杨学恒  辛洪政  刘济春  李旭  
【摘要】:在成功研制高精度IPC-205B型STM基础上对硬件设计和软件配备进行改进,研制开发了更高精度和应用更广的原子力显微镜。阐述该原子力显微镜的工作原理、组成及应用,详细介绍镜体的独特设计与控制过程、微悬臂的制作与工作过程。该样机采用简单适用的新型微悬臂,利用扫描隧道显微镜检测微悬臂的起伏,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描,能够有效提高扫描精度、扩大扫描范围。该原子力显微镜的分辨力为:横向0.1nm,纵向0.01 nm。给出该机型检测的几种样品的扫描图像。

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