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硅的准分子激光直写刻蚀微细加工特性研究

苑伟政  马炳和  李晓莹  李铁军  王丽戈  刘晶儒  
【摘要】:针对微机械三维结构对准分子激光直写微细加工的要求,在试验研究基础上,讨论了硅已加工表面形貌、加工热与热影响区等特性,得出了加工脉冲数、能量与刻蚀深度间的相互关系。

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