收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

单晶炉真空元件结构设计与试验研究

高利强  张晓辉  李团结  郑勐  尚军  
【摘要】:以提拉法单晶炉为研究对象,首先设计各种真空元件的密封结构,逐一给出结构设计的技术路线。静密封的密封件采用O形垫圈和矩形垫片,动密封的密封件采用唇形圈、O形圈和磁流体。指出不同结构之间的区别,介绍各自用途和使用场合。然后引入Roth密封机理、Hertz弹性接触理论和Reynolds流体润滑摩擦学原理,根据理论和数值分析及试验研究成果,对设计参数、机械加工和装配工艺参数进行论述。建立了局部和全局、硬轴炉型和软轴炉型试验装备,充分考虑单晶炉运行参数,模拟晶体生长条件,对不同炉型的试验装备进行了抽真空、充氩气试验。结果表明,观察窗、电极、硬轴、软轴和其他引入等23种真空元件的结构形式在不同使用场合完全满足晶体生长所需要的真空度及压力值。这些元件结构还可推广应用于坩埚下降法、区熔法等晶体生长设备及其他真空应用装置。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前19条
1 刁端琴;;从中职液压传动课程教学内容谈教学方法[J];中国科教创新导刊;2013年15期
2 李维仲,孟钢,胡连喜;强化传热元件结构优化方法的研究[J];热能动力工程;1994年02期
3 刘素梅;;CATIA软件在《液压传动》课程教学中的应用[J];课程教育研究;2013年19期
4 黎启柏;真空发生器的新应用[J];机械开发;1994年02期
5 韩建海;覃海涛;唐士梅;;真空发生器的设计与试验研究[J];机床与液压;1991年03期
6 仇久安;曹菲;孟婕;解润;赵有俊;;粉料真空输送试验机的研制[J];机电信息;2016年27期
7 马太玲;温高;;对允许吸上真空高度修正方法的探讨[J];排灌机械;1990年04期
8 伏振峰;;闭门器真空注油设备[J];机械工程师;2013年12期
9 李朋;韩冰;李秀明;;铁基合金真空摩擦学研究进展[J];材料导报;2010年13期
10 夏晋林,施进伟;防真空阀的设计和使用[J];丝绸;1997年06期
11 林建福;;真空起重助大工件搬运一臂之力[J];现代制造;2009年37期
12 姜燮昌;我国真空工业的现状与发展[J];真空;1999年01期
13 祝云霞;王朝阳;梅静容;;压力型真空断路阀防冻装置的设计[J];阀门;2012年03期
14 郑楚威;;液动执行机构真空注油系统设计及应用研究[J];中国设备工程;2021年16期
15 郁青春;杨斌;马文会;李志华;戴永年;;氧化镁真空碳热还原行为研究[J];真空科学与技术学报;2009年S1期
16 陈红斌;;真空引水装置选型设计与计算[J];新疆有色金属;2017年01期
17 张琦;徐淑君;;真空风机配套轴承的应用改进[J];现代零部件;2010年S1期
18 顾家华;黄子杰;朱忠德;缪仁玉;;真空(压力)连续浸渍绝缘工艺技术要求(续)[J];电机技术;2006年02期
19 ;真空引水自吸离心泵[J];机电产品开发与创新;1999年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 张人倍;宋期;;真空与大气中球盘摩擦副摩擦振动的比较[A];第五届全国摩擦学学术会议论文集(上册)[C];1992年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 韩威震;射流式真空发生器结构与进气参数对节气增效影响的研究[D];河南理工大学;2019年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978