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微型材料的拉伸测试方法研究

张泰华  杨业敏  赵亚溥  余同希  孙庆平  
【摘要】:微电子机械系统技术的迅速崛起 ,推动了微型材料拉伸测试方法的发展。文中列举几种典型的微型材料拉伸实验方法 ,具体说明其驱动方式、力和位移测试原理 ,并介绍实验中的难点 ,如试样加工、夹持和对中等方法。并进一步分析能满足未来发展需求的拉伸测试原理

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