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不同加载方式对微悬臂梁弹性系数的影响

刘庆玲  
【摘要】:悬臂梁的物理性能参数尤其是弹性系数对MEMS中微器件的性能有着重要的影响。根据材料的弹性小变形原理,分析了不同加载方式对悬臂梁弹性系数的影响。结果表明:悬臂梁在不同加载方式下,具有不同的弹性系数。其中,当其承受端部、中部集中载荷时,分别获得最小、最大弹性系数值。为满足不同应用要求,设计合理的加载方式提供了参考。

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