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利用Monte Carlo法计算粒子传输中的空间电荷效应

雷威  尹涵春  
【摘要】:在电子束印刷(electronbeamlithography)、聚焦离子束(focusionbeam)以及阴极射线管(cathoderaytube)等电子及离子束器件中,束中各粒子之间存在相互作用,产生空间电荷效应。人们对电子及离子束器件中的空间电荷效应已经做了大量的研究。到目前为止,通常采用MonteCarlo法计算粒子输运过程中的离散的空间电荷效应。在此主要研究在束形成区利用MonteCarlo法计算空间电荷效应,并讨论在计算过程中出现的边缘效应,在此基础上提出一些新的处理方法以减小边缘效应,提高计算效率。

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