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粉末冶金靶材的制备与应用

罗俊锋  
【摘要】:粉末冶金工艺是制备难熔金属、陶瓷和多元合金溅射靶材的重要方法,本文首先对粉末冶金的制备方法进行了总结,并进一步针对靶材的特性分析了粉末冶金制备的控制问题,最后对粉末冶金靶材的主要应用领域进行了阐释。

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