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纳米多层超硬膜力学性能研究进展

任毅  周家斌  付志强  王成彪  吕建国  于翔  彭志坚  
【摘要】:纳米多层膜显著改善了膜层的硬度、韧性、耐磨性及耐热性,能够满足各种特殊应用需要,成为硬质薄膜研究的热点课题。本文综述了近年来纳米多层膜在硬度、耐磨性及热稳定性方面的研究成果,分析了它们的主要影响因素,并对今后纳米多层膜的发展趋势进行了展望。

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