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探讨溶胶-凝胶工艺制备PZT薄膜

张红芳  佘正国  
【摘要】:介绍溶胶 -凝胶法制备PZT铁电薄膜的工艺过程 ,探讨影响稳定溶胶配制的原材料、溶剂及溶液的 pH值选取 分析催化剂和添加剂在提高薄膜质量方面的作用机理 ,理论上阐述了基片和PbTiO3过渡层对促进PZT薄膜晶化的影响 提出优化溶胶 -凝胶技术的关键措施 利用优化工艺对采用无机盐硝酸锆 ,通过甩胶沉积在α Al2 O3基片上的PZT薄膜的微观表面形貌和相结构进行了观察

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