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层次式直接边界元计算VLSI三维互连电容

古江春  王泽毅  洪先龙  
【摘要】:文中将 Appel处理多体问题的层次式算法思想实现于直接边界元法 ,用以计算 VL SI三维互连寄生电容 .直接边界积分方程同时含有边界上的电势与法向电场强度 ,能比间接边界元法更方便地处理多介质及有限介质结构 .直接边界元法的层次式计算涉及对三种边界 (强加边界、自然边界与介质交界面 )及两种积分核 (1/r与 1/r3)的处理 ,显著区别于基于间接边界元法、仅处理强加边界与一种积分核的层次式算法 .文中以边界元的层次划分为基础 ,实现系数矩阵的层次式形成与存储 ,并在 GMRES迭代中实现层次式矩阵——向量乘法 ,显著提高了计算速度 .

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