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静电悬浮加速度计关键技术剖析

宋仁旺  陈琳英  
【摘要】:对静电悬浮加速度计的关键技术进行了分析,给出了结构参数、电容检测器的输出电压与位移的关系,分析了PID控制器的作用和残余气体的阻尼作用,导出了线加速度和角加速度的检测公式,指出了辐射计效应对加速度噪声有重要影响。

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