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用于高精确度位移测量的散斑全息干涉术(英文)

余官正  
【摘要】:传统的双曝光散斑照相术用于位移测量存在着某些弱点:其一是在再现中由于衍射爱里斑对杨氏条纹数的限制,使测量灵敏度不能太高;其二是照相术本身意味着不能实时测量;其三是杨氏干涉的机理使得横向位移的测量范围不可能很大。本文提出了用散斑全息干涉术进行高灵敏度的位移测量,进而提出用散斑莫尔术进行实时测量,并对它们从理论上和实验上作了论证。作者认为,上述方法的精确度高于双曝光散斑照相术,而且简便易行,可用于生产及科研中的横向小位移精密测量。

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