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波长扫描干涉仪信号处理技术

王勇  廖延彪  田芊  
【摘要】:提出了一种可用于绝对距离测量的光纤扫描干涉仪。基于数字信号处理技术,设计了一种算法,从而有效地提高了相位的分辨率、滤除噪声和干扰并克服了扫描过程中波长的随机晃动,可达到距离测量所要求的0.05μm的精度和0.01μm的分辨率

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