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DDI法测薄膜光学常数

谷晋骐  郑永星  
【摘要】:双光束双波长激光干涉(DDI)法采用自行设计的可调双波长氦氖激光器作光源,可在同一光路中通过两次测量获得薄膜样品两个波长(0.633μm,3.39μm)下的光学常数,即折射率、消光系数和厚度。论述了测量原理、测量装置和测量结果。

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