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纳米Mo膜的光学特性及最小连续膜厚研究

范平  邵建达  易葵  齐红基  范正修  
【摘要】:利用Lambda-900分光光度计,在波长为310~1250nm范围内测量了离子束溅射沉积不同厚度纳米Mo膜的反射率和透射率。选定波长为310nm,350nm,400nm,500nm,550nm,632nm,800nm,1200nm时对薄膜的反射率、透射率和吸收率随膜厚变化的关系进行了讨论。实验结果显示,纳米Mo膜的光学特性有明显的尺寸效应。提出将薄膜对光波长为550nm时的反射率和透射率随Mo膜厚度变化关系的交点对应的厚度作为特征厚度,该厚度可认为是纳米Mo膜生长从不连续膜进入连续膜的最小连续膜厚。利用原子力显微镜(AFM)观测膜厚在15.76nm时的表面形貌,此时表面形貌已呈现连续膜的特征

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