收藏 | 投稿 |

用脉冲激光沉积方法制备氮化铝薄膜

凌浩施维孙剑应质峰吴嘉达李富铭王康林丁训民

【摘要】：介绍了用脉冲激光沉积 (PLD)方法制备AlN薄膜的工作 ,在Si(10 0 )衬底上得到了光滑平整、透明度高的AlN薄膜 ,由实验结果拟合得到能隙宽度为 5 7eV。考察了衬底温度和退火温度的影响。

下载App查看全文

下载全文更多同类文献论文一键排版服务>>

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前20条

1	李廷先;张铭;王光明;郭宏瑞;李扩社;严辉;;La_(2/3)Sr_(1/3)MnO_3/BaTiO_3复合薄膜的制备及其电致磁电效应研究[J];物理学报;2011年08期
2	李丽丽;梁齐;史成武;孔明光;李兵;;脉冲激光沉积制备SnS薄膜及其光学特性的研究[J];真空科学与技术学报;2011年04期
3	陶淑芬;;纳秒激光脉冲烧蚀金属铜的物理过程分析[J];激光杂志;2011年04期
4	魏显起;王勇杰;张仲;;退火对用PLD法制备ZnO薄膜的发光影响[J];红外与毫米波学报;2011年03期
5	;[J];;年期
6	;[J];;年期
7	;[J];;年期
8	;[J];;年期
9	;[J];;年期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
15	;[J];;年期
16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	杨雪;程勇;郭延龙;王会升;王淑云;朱孟真;米朝伟;;脉冲激光沉积大面积均匀类金刚石膜新技术研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集（上册）[C];2009年
2	王淑芳;陈景春;葛大勇;陈珊珊;乔小奇;丁学成;王江龙;傅广生;;脉冲激光沉积条件对Bi_2Sr_2Co_2O_y热电薄膜结构与电输运性能的影响[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
3	苏雪琼;王丽;陈江博;万晓婧;;脉冲激光沉积制备ZnO掺Co薄膜和宽带能隙分析[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
4	吴气虹;揭建胜;于琳;韩新海;王冠中;方容川;;脉冲激光沉积ZnO薄膜的变温光致发光研究[A];第九届全国发光学术会议摘要集[C];2001年
5	傅广生;于威;梁宝来;韩理;;脉冲激光消融碳等离子体动力学研究[A];2002年中国光学学会年会论文集[C];2002年
6	李松玲;王如志;赵维;宋志伟;王波;严辉;;脉冲激光沉积氮化铝薄膜及沉积参数对其场发射性能的影响[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集（第7分册）[C];2010年
7	施洪钧;王利;;ICP-AES法测定氮化铝晶体中8种掺杂元素的含量[A];第十届中国化学会分析化学年会暨第十届全国原子光谱学术会议论文摘要集[C];2009年
8	朱建华;王毅;叶葱;叶芸;王浩;;脉冲激光沉积制备的HfO_2电学性能及其漏电流机制研究[A];2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2009年
9	曹培江;曾玉祥;贾芳;朱德亮;马晓翠;吕有明;;氧气压力对PLD ZnO薄膜形貌及光学性质影响[A];第十五届全国化合物半导体材料，微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
10	楼捷;叶邦角;翁惠民;韩荣典;杜淮江;;ZnO/M/ZnO金属介质多层膜的慢正电子研究[A];第十届全国正电子湮没谱学会议论文集[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	倪牟翠;用脉冲激光沉积制备SrTiO_3/Nb：SrTiO_3异质结及其光电特性研究[D];长春理工大学;2010年
2	王兆阳;ZnO和ZnO/MgO复合层薄膜的PLD法制备及其特性研究[D];大连理工大学;2006年
3	邢鹏飞;铁掺杂氧化铟铁磁性半导体薄膜的生长及性能研究[D];山东大学;2009年
4	魏显起;脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及其光电性质研究[D];山东师范大学;2007年
5	刘玫;脉冲激光沉积（PLD）碲镉汞（HgCdTe）薄膜材料结构特性的研究[D];山东师范大学;2009年
6	王天生;YBa_2Cu_3O_（7-δ）和MgB_2超导薄膜的制备及微观结构表征[D];燕山大学;2006年
7	刘维峰;ZnO：Al透明导电薄膜和ZnO发光器件的制备及特性研究[D];大连理工大学;2007年
8	张麟;抗凝血纳米功能薄膜材料的研制及抗凝血机理研究[D];中山大学;2008年
9	王俊明;PbMg_（1/3）Nb_（2/3）O_3-PbTiO_3铁电薄膜结晶特性及性能[D];哈尔滨工业大学;2009年
10	陈恒智;稀土掺杂Bi_3TiNbO_9铁电氧化物的光学性质研究[D];哈尔滨工业大学;2011年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	张灿云;常温下脉冲激光沉积立方氮化硼薄膜和金刚石的纳米成核热力学研究[D];湘潭大学;2003年
2	刘玫;脉冲激光沉积（PLD）半导体材料结构特性的研究[D];山东师范大学;2006年
3	吕珂;脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及其结构和发光特性分析[D];江西师范大学;2006年
4	许士才;β-FeSi_2半导体薄膜的制备及性能的研究[D];山东师范大学;2011年
5	潘军;高温超导薄膜的制备及相关特性的研究[D];重庆大学;2008年
6	张志广;ZnO纳米材料的制备及其特性研究[D];山东师范大学;2006年
7	张德恺;脉冲激光沉积硅基发光薄膜及其特性研究[D];西北大学;2005年
8	徐华;脉冲激光沉积Pb_（0.5）Sr_（0.5）TiO_3薄膜和（Pb，Sr）TiO_3/（Pb，La）TiO_3多层膜的介电性能及弛豫现象[D];苏州大学;2005年
9	丁旭丽;类金刚石薄膜的制备及光学性质研究[D];曲阜师范大学;2009年
10	胡大治;脉冲激光法制备高介电系数铁电薄膜和多层膜[D];苏州大学;2005年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡在线购卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62982499 010-62783978	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南