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微透镜列阵的离子束刻蚀及衍射效率测量

赵光兴  杨国光  陈洪璆  侯西云  
【摘要】:采用Kaufman离子源刻蚀微透镜列阵并采用实时检测系统对刻蚀深度进行了控制。提出了测量微透镜列阵衍射效率的一种方法。对测量误差进行了讨论。

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