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脉冲激光LGA法钛表面氮化及其XRD和SEM微观分析

宋宙模  蔡猛  郭钊  吴嘉达  伍长征  吴凌晖  李富铭  
【摘要】:用调Q-YAG和XeCl脉冲激光在钛表面以激光气体合金化(LGA)方法生成氮化钛层。用X射线衍射仪(XRD)分析了不同激光能量、不同N_2气压,不同作用脉冲数等条件下TiN的结晶取向、结晶形态、氮化程度。用扫描电镜(SEM)观察了它们的微观结构。对脉冲激光的LGA法机理进行了探讨。也发现了用LGA法对M_o的氮化生成Mo_2N。

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