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光学元件面形的环路径向剪切干涉检测方法研究

赵云影  赵刚  李大海  鲍丙芳  
【摘要】:提出了将环路径向剪切干涉(CRSI,Cyclic Radial Shearing Interferometry)术应用于光学元件面形检测的新方法。设计了基于环路径向剪切干涉检测光学元件面形的光路系统。根据环路径向剪切干涉法的波前重建算法,模拟计算了任意波前的重建情况,同时在基于开普勒望远系统的环路径向剪切干涉仪上实际测量了一个已知光学元件的面形。结果表明,文中提出的波前重建算法和采用的光路系统可用于实际光学元件面形的准确检测,系统的重复性也得到了研究。

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